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半導體制造工藝和流程

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1.晶圓制造
晶圓制造主要是在晶圓上制作電路與鑲嵌電子元件（如電晶體、電容、邏輯閘等），是所需技術(shù)最

半導體制造工藝和流程
1.晶圓制造
晶圓制造主要是在晶圓上制作電路與鑲嵌電子元件（如電晶體、電容、邏輯閘等），是所需技術(shù)最復雜且資金投入最多的過程。以微處理器為例，其所需處理步驟可達數(shù)百道，而且所需加工機器先進且昂貴。雖然詳細的處理程序是隨著產(chǎn)品種類和使用技術(shù)的變化而不斷變化，但其基本處理步驟通常是晶圓先經(jīng)過適當?shù)那逑粗�，接著進行氧化及沉積處理，最后進行微影、蝕刻及離子植入等反復步驟，最終完成晶圓上電路的加工與制作。
2.晶圓測試
晶圓經(jīng)過劃片工藝后，表面上會形成一道一道小格，每個小格就是一個晶片或晶粒（Die），即一個獨立的集成電路。在一般情況下，一個晶圓上制作的晶片具有相同的規(guī)格，但是也有可能在同一個晶圓上制作規(guī)格等級不同的晶片。晶圓測試要完成兩個工作：一是對每一個晶片進行驗收測試，通過針測儀器（Probe）檢測每個晶片是否合格，不合格的晶片會被標上記號，以便在切割晶圓的時候?qū)⒉缓细窬Y選出來；二是對每個晶片進行電氣特性（如功率等）檢測和分組，并作相應的區(qū)分標記。
3.芯片封裝
首先，將切割好的晶片用膠水貼裝到框架襯墊（Substrate）上；其次，利用超細的金屬導線或者導電性樹脂將晶片的接合焊盤連接到框架襯墊的引腳，使晶片與外部電路相連，構(gòu)成特定規(guī)格的集成電路芯片（Bin）；最后對獨立的芯片用塑料外殼加以封裝保護，以保護芯片元件免受外力損壞。塑封之后，還要進行一系列操作，如后固化（Post Mold Cure）、切筋（Trim）、成型（Form）和電鍍（Plating）等工藝。
4.芯片測試
封裝好的芯片成功經(jīng)過烤機（Burn In）后需要進行深度測試，測試包括初始測試（Initial Test）和最后測試（Final Test）。初始測試就是把封裝好的芯片放在各種環(huán)境下測試其電氣特性（如運行速度、功耗、頻率等），挑選出失效的芯片，把正常工作的芯片按照電氣特性分為不同的級別。最后測試是對初始測試后的芯片進行級別之間的轉(zhuǎn)換等操作。
5.成品入庫
測試好的芯片經(jīng)過半成品倉庫后進入最后的終加工，包括激光印字、出廠質(zhì)檢、成品封裝等，最后入庫。

以上為半導生產(chǎn)工藝基本流程，如需了解更多請點擊以下鏈接：
微電子封裝用電子膠粘劑封裝形式
 半導體封裝的典型封裝工藝簡介
 半導體封裝材料
半導體制造工藝和流程
常見的芯片電學互連的三種方式
 微電子封裝工業(yè)中膠粘劑的涂覆工藝技術(shù)
半導體芯片封裝選擇膠粘劑需考慮的因素

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